Som en professionell tillverkare och leverantör av Aixtron MOCVD Susceptor i Kina används Vetek Semiconductors Aixtron MOCVD Susceptor i stor utsträckning i tunnfilmsavsättningsprocessen för halvledarproduktion, särskilt i samband med MOCVD-processen. Vetek Semiconductor fokuserar på att tillverka och leverera högpresterande Aixtron MOCVD Susceptor-produkter. Välkommen med din förfrågan.
Susceptorerna producerade avVetek Semiconductorär gjorda av grafitsubstrat och kiselkarbid (SiC) beläggningsmaterial. Med tanke på SiC-materialets högre slitstyrka, korrosionsbeständighet och extremt höga hårdhet är det särskilt lämpligt för användning i tuffa processmiljöer. Därför kan Susceptorerna som produceras av Vetek Semiconductor användas direkt i högtemperatur MOCVD-processer utan ytterligare ytbehandling.
Susceptorer är nyckelkomponenter i halvledartillverkning, särskilt i MOCVD-utrustning för tunnfilmsavsättningsprocesser. Huvudrollen förAixtron SiC-mottagarei MOCVD-processen är att bära halvledarskivor, säkerställa enhetlig och högkvalitativ avsättning av tunna filmer genom att tillhandahålla enhetlig värmefördelning och reaktionsmiljö, och därigenom uppnå högkvalitativ tunnfilmsproduktion.
Aixtron MOCVD-receptoranvänds vanligtvis för att stödja och fixera basen av halvledarskivor för att säkerställa stabiliteten hos skivan under avsättningsprocessen. Samtidigt är ytbeläggningen av Aixtron MOCVD Susceptor gjord av kiselkarbid (SiC), ett mycket värmeledande material. SiC-beläggningen säkerställer enhetlig temperatur på ytan av skivan, och enhetlig uppvärmning är avgörande för att erhålla högkvalitativa filmer.
DessutomAixtron MOCVD-receptorvi producerar spelar en större roll för att kontrollera flödet och distributionen av reaktiva gaser genom optimerad design av material. Undvik virvelströmmar och temperaturgradienter för att uppnå enhetlig filmavlagring.
Ännu viktigare, i MOCVD-processen har kiselkarbid (SiC) beläggningsmaterialet korrosionsbeständighet, såVetek SemiconductorsAixtron MOCVD-receptortål även höga temperaturer och frätande gaser.
Grundläggande fysikaliska egenskaper hosSIC BEläggning:
VeTek Semiconductor Wafer Boat-butiker:
Översikt över halvledarchipets epitaxiindustrikedja: