CVD SiC-beläggning Epitaxisusceptor

VeTek Semiconductors CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor är ett precisionskonstruerat verktyg designat för hantering och bearbetning av halvledarskivor. Denna SiC Coating Epitaxy Susceptor spelar en viktig roll för att främja tillväxten av tunna filmer, epilager och andra beläggningar, och kan exakt kontrollera temperatur och materialegenskaper. Välkommen med dina ytterligare förfrågningar.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

CVD SiC Coating Epitaxi Susceptor är en typ avMOCVD LED Epi Suceptor, som spelar en central roll i CVD-reaktorn. Som en Epi-susceptor är den inte bara en värmekälla utan ger också en stabil stödplattform för substratet under deponeringsprocessen.SiC-beläggningkan effektivt minska oxidationen och kontamineringen av Graphite Susceptor i högtemperaturmiljöer, och därigenom säkerställa den höga renheten hos det avsatta materialet.

Grundläggandefysikaliska egenskaper hos CVD SiC-beläggning:

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Egendom	Typiskt värde
Kristallstruktur	FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
Densitet	3,21 g/cm³
Hårdhet	2500 Vickers hårdhet（500g belastning）
Kornstorlek	2~10μm
Kemisk renhet	99,99995 %
Värmekapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimeringstemperatur	2700℃
Böjningsstyrka	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Värmeledningsförmåga	300W·m^-1·K^-1
Termisk expansion (CTE)	4,5×10^-6K^-1

CVD SiC Coating Epitaxi Susceptor Produktfördelar:

● Exakt deponering: Med CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor kan du uppnå exakt kontrollerad avsättning av tunna filmer och beläggningar för att erhålla högkvalitativa och repeterbara resultat.

● Minskad kontaminering: SiC-beläggning minimerar risken för kontaminering frånEpi Suceptorbaserad grafit, vilket säkerställer renheten hos det avsatta materialet.

● Varaktighet: SiC-beläggning förbättrar oxidationsbeständigheten och den kemiska korrosionsbeständigheten hos Graphite Epitaxy Susceptor, vilket ger den en längre livslängd och högre tillförlitlighet.

VeTek Semiconductorhar åtagit sig att tillhandahålla högkvalitativa produkter och konkurrenskraftiga priser. Oavsett om det är detOm EPI-mottagareneller High purity Graphite EPI Susceptor, vi kan möta dina behov. Vi ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.

VeTek SemiconductorCVD SiC Coating Epitaxi Susceptor Produktbutiker: