CVD SIC -beläggningsgrafit Susceptor

VeTek Semiconductor CVD SiC-beläggningsgrafitsusceptor är en av de viktiga komponenterna i halvledarindustrin såsom epitaxiell tillväxt och waferbearbetning. Den används i MOCVD och annan utrustning för att stödja bearbetning och hantering av wafers och andra högprecisionsmaterial. VeTek Semiconductor har Kinas ledande SiC-belagda grafitsusceptor och TaC Coated Graphite Susceptor produktions- och tillverkningskapacitet, och ser fram emot din konsultation.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

CVD SiC-beläggningsgrafitsusceptor är speciellt designad för högprecisionstillverkning inom halvledarindustrin. Grafitsubstratet är belagt med ett högrent SiC-skikt genom CVD-processen, som har utmärkt högtemperaturbeständighet, korrosionsbeständighet och oxidationsbeständighet, och kan fungera stabilt under lång tid i högtemperatur- och vakuummiljöer. Denna piedestal används ofta i MOCVD, PECVD, PVD och annan utrustning för att stödja bearbetning och hantering av wafers och andra högprecisionsmaterial.

Kärnfördelar:

● Hög temperaturstabilitet: Högren grafit i sig har utmärkt termisk stabilitet. Efter att ha belagts med SiC-beläggning kan den motstå extrema miljöer med högre temperaturer och är lämplig för högtemperaturprocesser inom halvledarbearbetning.
● Corrosjonmotstånd: CVD SiC-beläggning är resistent mot syra- och alkalikorrosion och kan ha lång livslängd i CVD-processen.
● Hög hhårdhet och oxidationsbeständighet: CVD SiC-beläggning har utmärkt hårdhet, reptålighet och oxidationsbeständighet vid höga temperaturer för att bibehålla materialets stabilitet.
● Bra värmeledningsförmåga: Kombinationen av grafitsubstrat och CVD SiC-beläggningssusceptor gör att basen har utmärkt värmeledningsförmåga, vilket effektivt kan leda värme och förbättra produktionseffektiviteten.

Produktspecifikationer:

● Material: grafitsubstrat + CVD SiC-beläggning
● Beläggningstjocklek: kan anpassas efter kundens behov
● Tillämplig miljö: hög temperatur, vakuum, frätande gasmiljö

Anpassad service:

Vi tillhandahåller mycket kundanpassade tjänster för att möta behoven hos kundernas olika utrustning och processer. Beroende på kundens specifika applikation kan grafitbaser med olika beläggningstjocklekar, ytbehandlingar och precisionsnivåer tillhandahållas.

VeTekSemi har alltid arbetat inom CVD-kiselkarbidbeläggningsindustrin och har den branschledande CVD SiC-beläggningsgrafitbasproduktionen och tillverkningsnivån. Om du behöver mer produktinformation eller anpassade tjänster, vänligen kontakta VeTek Semiconductor, vi kommer helhjärtat att ge dig professionell support.