TaC Coated Graphite Wafer Carrier

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare av TaC Coated Graphite Wafer Carrier och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på SiC- och TaC-beläggning i många år. Vår TaC-belagda grafitwafer-bärare har högre temperaturbeständighet och slitstark. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Du kan vara säker på att köpa skräddarsydd TaC Coated Graphite Wafer Carrier från VeTek Semiconductor. Vi ser fram emot att samarbeta med dig, om du vill veta mer kan du rådfråga oss nu, vi kommer att svara dig i tid!

VeTek Semiconductor TaC Coated Graphite Wafer Carrier interagerar direkt med wafers i epitaxireaktorn, vilket förbättrar effektiviteten och prestanda. Med valet av beläggning av kiselkarbid eller tantalkarbid, erbjuder VeTek Semiconductor TaC Coated Graphite Wafer Carrier förlängd livslängd, upp till 2-3 gånger längre med tantalkarbid. Kompatibel med olika maskinmodeller, inklusive LPE SiC epitaxiugnar, JSG, NASO epitaxiugnar.

VeTek Semiconductor TaC-belagd grafitbärare säkerställer exakt reaktionsstökiometri, förhindrar migration av föroreningar och upprätthåller temperaturstabilitet över 2000°C. Det uppvisar anmärkningsvärt motstånd mot H2, NH3, SiH4 och Si, vilket skyddar mot hårda kemiska miljöer. Den tål termiska stötar och möjliggör snabba driftcykler utan beläggningsdelaminering.

VeTek Semiconductor TaC-beläggning garanterar ultrahög renhet, eliminerar föroreningar och säkerställer konform täckning som uppfyller stränga dimensionella toleranser. Med VeTek Semiconductors avancerade grafitbearbetningsmöjligheter är vi utrustade för att möta dina anpassningsbehov. Oavsett om du behöver beläggningstjänster eller omfattande lösningar, är vårt team av expertingenjörer redo att designa den perfekta lösningen för dina specifika applikationer. Lita på att vi levererar högkvalitativa produkter skräddarsydda efter dina krav och förväntningar.

PVT-metoden SiC Crystal Growth

Produktparameter för TaC Coated Graphite Wafer Carrier

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga	0.3
Termisk expansionskoefficient	6,3 10-6/K
Hårdhet (HK)	2000 HK
Motstånd	1×10-5 Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstorleken ändras	-10~-20um
Beläggningstjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)