VeTek Semiconductor är en ledande inhemsk tillverkare och leverantör av CVD SiC-fokusringar, dedikerade till att tillhandahålla högpresterande och tillförlitliga produktlösningar för halvledarindustrin. VeTek Semiconductors CVD SiC-fokusringar använder avancerad kemisk ångavsättningsteknik (CVD), har utmärkt högtemperaturbeständighet, korrosionsbeständighet och värmeledningsförmåga, och används i stor utsträckning i halvledarlitografiprocesser. Dina förfrågningar är alltid välkomna.
Som grunden för modern elektronisk utrustning och informationsteknik har halvledarteknik blivit en oumbärlig del av dagens samhälle. Från smartphones till datorer, kommunikationsutrustning, medicinsk utrustning och solceller, nästan all modern teknik är beroende av tillverkning och tillämpning av halvledarenheter.
Eftersom kraven på funktionell integrering och prestanda för elektroniska enheter fortsätter att öka, utvecklas och förbättras också halvledarprocesstekniken ständigt. Som kärnlänken i halvledarteknik bestämmer etsningsprocessen direkt enhetens struktur och egenskaper.
Etsningsprocessen används för att exakt ta bort eller justera materialet på ytan av halvledaren för att bilda den önskade strukturen och kretsmönster. Dessa strukturer bestämmer prestandan och funktionaliteten hos halvledarenheter. Etsningsprocessen kan uppnå precision på nanometernivå, vilket är grunden för tillverkning av högdensitet och högpresterande integrerade kretsar (IC).
CVD SiC Focus Ring är en kärnkomponent i torretsning, främst för att fokusera plasma för att få den att ha högre densitet och energi på skivans yta. Den har funktionen att jämnt fördela gasen. VeTek Semiconductor växer SiC lager för lager genom CVD-processen och erhåller slutligen CVD SiC Focus Ring. Den förberedda CVD SiC Focus Ringen kan perfekt uppfylla kraven för etsningsprocessen.
CVD SiC Focus Ring är utmärkt i mekaniska egenskaper, kemiska egenskaper, värmeledningsförmåga, hög temperaturbeständighet, jonetsningsbeständighet, etc.
● Hög densitet minskar etsningsvolymen
● Hög bandgap och utmärkt isolering
● Hög värmeledningsförmåga, låg expansionskoefficient och motståndskraft mot värmechock
● Hög elasticitet och god mekanisk slaghållfasthet
● Hög hårdhet, slitstyrka och korrosionsbeständighet
VeTek Semiconductorhar den ledande bearbetningskapaciteten för CVD SiC Focus Ring i Kina. Samtidigt hjälper VeTek Semiconductors mogna tekniska team och säljteam oss att förse kunder med de mest lämpliga fokusringprodukterna. Att välja VeTek-halvledare innebär att samarbeta med ett företag som har åtagit sig att tänja på gränserna förCVD kiselkarbid innovation.
Med stark tonvikt på kvalitet, prestanda och kundnöjdhet levererar vi produkter som inte bara uppfyller utan överträffar de rigorösa kraven från halvledarindustrin. Låt oss hjälpa dig att uppnå större effektivitet, tillförlitlighet och framgång i din verksamhet med våra avancerade CVD-kiselkarbidlösningar.
Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Egendom
Typiskt värde
Kristallstruktur
FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
SiC-beläggning Densitet
3,21 g/cm³
SiC-beläggning Hårdhet
2500 Vickers hårdhet(500g belastning)
kornstorlek
2~10μm
Kemisk renhet
99,99995 %
Värmekapacitet
640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur
2700 ℃
Böjningsstyrka
415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul
430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Värmeledningsförmåga
300W·m-1·K-1
Termisk expansion (CTE)
4,5×10-6K-1