VeTek Semiconductor är din innovativa partner inom halvledarbearbetning. Med vår omfattande portfölj av materialkombinationer av kiselkarbidkeramik av halvledarkvalitet, komponenttillverkningsmöjligheter och applikationstekniktjänster kan vi hjälpa dig att övervinna betydande utmaningar. Teknisk teknisk kiselkarbidkeramik används i stor utsträckning inom halvledarindustrin på grund av deras exceptionella materialprestanda. VeTek Semiconductors ultrarena kiselkarbidkeramik används ofta under hela cykeln av halvledartillverkning och -bearbetning.
VeTek Semiconductor tillhandahåller konstruerade keramiska komponenter speciellt designade för batchdiffusion och LPCVD-krav inklusive:
• Bafflar & hållare
• Injektorer
• Liners & processtuber
• Fribärande paddlar av kiselkarbid
• Waferbåtar och piedestaler
SiC Cantilever paddel SiC processrör Processrör av kiselkarbid SiC vertikal waferbåt SiC horisontell waferbåt SiC horizontals fyrkantig waferbåt SiC LPCVD waferbåt SiC horisontell plattbåt SiC rund waferbåt
Minimera kontaminering och oplanerat underhåll med komponenter med hög renhet som är konstruerade för strängheten vid plasmaetsning, inklusive:
Fokusringar
Munstycken
Sköldar
Duschmunstycken
Fönster / Lock
Andra anpassade komponenter
VeTek Semiconductor tillhandahåller avancerade materialkomponenter skräddarsydda för applikationer för termisk bearbetning vid hög temperatur inom halvledarindustrin. Dessa applikationer omfattar RTP, Epi-processer, diffusion, oxidation och glödgning. Vår tekniska keramik är designad för att motstå termiska stötar, vilket ger pålitlig och konsekvent prestanda. Med VeTek Semiconductors komponenter kan halvledartillverkare uppnå effektiv och högkvalitativ termisk bearbetning, vilket bidrar till den övergripande framgången för halvledarproduktion.
• Diffusorer
• Isolatorer
• Susceptorer
• Andra specialanpassade termiska komponenter
Fysikaliska egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid | |
Fast egendom | Typiskt värde |
Arbetstemperatur (°C) | 1600°C (med syre), 1700°C (reducerande miljö) |
SiC / SiC innehåll | > 99,96 % |
Si / Gratis Si-innehåll | < 0,1 % |
Bulkdensitet | 2,60-2,70 g/cm3 |
Synbar porositet | < 16 % |
Kompressionsstyrka | > 600 MPa |
Kallböjhållfasthet | 80-90 MPa (20°C) |
Varmböjhållfasthet | 90-100 MPa (1400°C) |
Termisk expansion @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Värmeledningsförmåga @1200°C | 23 W/m•K |
Elasticitetsmodul | 240 GPa |
Motståndskraft mot termisk stöt | Extremt bra |
VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och innovatör av High Purity SiC Cantilever Paddle i Kina. High Purity SiC Cantilever-paddlar används vanligtvis i halvledardiffusionsugnar som waferöverförings- eller lastplattformar. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknologi och produktlösningar för halvledarindustrin. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSom en professionell tillverkare och leverantör av Vertical Column Wafer Boat & Pedestal i Kina är Vetek Semiconductors Vertical Column Wafer Boat & Pedestal tillverkad av högrent kvarts- eller silikonkolkeramiska (SiC) material, med utmärkt högtemperaturbeständighet, kemisk stabilitet och mekanisk styrka , och är en oumbärlig kärnkomponent i halvledartillverkningsprocessen. Välkommen till din vidare konsultation.
Läs merSkicka förfråganVetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat är en avancerad utrustning för halvledarbearbetning. Produktstrukturen hos Contiguous Wafer Boat är noggrant utformad för att säkerställa effektiv bearbetning och produktion av precisionswafers. Vetek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla utmärkt teknik och produktlösningar för halvledarindustrin. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en professionell kinesisk tillverkare av Silicon On Insulator Wafer, ALD Planetary Base och TaC Coated Graphite Base. VeTek Semiconductors Silicon On Insulator Wafer är ett viktigt halvledarsubstratmaterial, och dess utmärkta produktegenskaper gör att det spelar en nyckelroll i högpresterande, lågeffekts-, högintegrations- och RF-applikationer. Vi ser fram emot ytterligare samarbete med dig.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och leverantör av TaC-belagd styrring, horisontell SiC-waferbärare och SiC-belagda susceptorer i Kina. Vi är fast beslutna att tillhandahålla perfekt teknisk support och ultimata produktlösningar för halvledarindustrin. Välkommen att kontakta oss.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductors SiC Wafer Boat är en mycket högpresterande produkt. Vår SiC Wafer Boat används vanligtvis i halvledaroxidationsdiffusionsugnar för att säkerställa att temperaturen är jämnt fördelad på wafern och förbättra kiselwaferns bearbetningskvalitet. SiC-materialens höga temperaturstabilitet och höga värmeledningsförmåga säkerställer effektiv och pålitlig halvledarbearbetning. Vi är fast beslutna att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser och ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfrågan