VeTek Semiconductor är din innovativa partner inom halvledarbearbetning. Med vår omfattande portfölj av materialkombinationer av kiselkarbidkeramik av halvledarkvalitet, komponenttillverkningsmöjligheter och applikationstekniktjänster kan vi hjälpa dig att övervinna betydande utmaningar. Teknisk teknisk kiselkarbidkeramik används i stor utsträckning inom halvledarindustrin på grund av deras exceptionella materialprestanda. VeTek Semiconductors ultrarena kiselkarbidkeramik används ofta under hela cykeln av halvledartillverkning och -bearbetning.
VeTek Semiconductor tillhandahåller konstruerade keramiska komponenter speciellt designade för batchdiffusion och LPCVD-krav inklusive:
• Bafflar & hållare
• Injektorer
• Liners & processtuber
• Fribärande paddlar av kiselkarbid
• Waferbåtar och piedestaler
SiC Cantilever paddel SiC processrör Processrör av kiselkarbid SiC vertikal waferbåt SiC horisontell waferbåt SiC horizontals fyrkantig waferbåt SiC LPCVD waferbåt SiC horisontell plattbåt SiC rund waferbåt
Minimera kontaminering och oplanerat underhåll med komponenter med hög renhet som är konstruerade för strängheten vid plasmaetsning, inklusive:
Fokusringar
Munstycken
Sköldar
Duschmunstycken
Fönster / Lock
Andra anpassade komponenter
VeTek Semiconductor tillhandahåller avancerade materialkomponenter skräddarsydda för applikationer för termisk bearbetning vid hög temperatur inom halvledarindustrin. Dessa applikationer omfattar RTP, Epi-processer, diffusion, oxidation och glödgning. Vår tekniska keramik är designad för att motstå termiska stötar, vilket ger pålitlig och konsekvent prestanda. Med VeTek Semiconductors komponenter kan halvledartillverkare uppnå effektiv och högkvalitativ termisk bearbetning, vilket bidrar till den övergripande framgången för halvledarproduktion.
• Diffusorer
• Isolatorer
• Susceptorer
• Andra specialanpassade termiska komponenter
Fysikaliska egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid | |
Fast egendom | Typiskt värde |
Arbetstemperatur (°C) | 1600°C (med syre), 1700°C (reducerande miljö) |
SiC / SiC innehåll | > 99,96 % |
Si / Gratis Si-innehåll | < 0,1 % |
Bulkdensitet | 2,60-2,70 g/cm3 |
Synbar porositet | < 16 % |
Kompressionsstyrka | > 600 MPa |
Kallböjhållfasthet | 80-90 MPa (20°C) |
Varmböjhållfasthet | 90-100 MPa (1400°C) |
Termisk expansion @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Värmeledningsförmåga @1200°C | 23 W/m•K |
Elasticitetsmodul | 240 GPa |
Motståndskraft mot termisk stöt | Extremt bra |
VeTek Semiconductor tillhandahåller högpresterande SiC Process Tubes för halvledartillverkning. Våra SiC-processrör utmärker sig i oxidations- och diffusionsprocesser. Med överlägsen kvalitet och hantverk erbjuder dessa rör högtemperaturstabilitet och värmeledningsförmåga för effektiv halvledarbearbetning. Vi erbjuder konkurrenskraftiga priser och strävar efter att vara din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductors SiC Cantilever Paddle är en mycket högpresterande produkt. Vår SiC Cantilever Paddle används vanligtvis i värmebehandlingsugnar för att hantera och stödja kiselwafers, kemisk ångavsättning (CVD) och andra processer i halvledartillverkningsprocesser. SiC-materialets höga temperaturstabilitet och höga värmeledningsförmåga säkerställer hög effektivitet och tillförlitlighet i halvledarbearbetningsprocessen. Vi är fast beslutna att tillhandahålla högkvalitativa produkter till konkurrenskraftiga priser och ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och leverantör i Kina för waferbåt av kiselkarbid för horisontell ugn, med många års erfarenhet av FoU och produktion, kan kontrollera kvaliteten väl och erbjuda ett konkurrenskraftigt pris. Du kan vara säker på att köpa kiselkarbidskivan för horisontell ugn av oss.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och leverantör i Kina för SiC-belagd kiselkarbid-waferbåt, med många års erfarenhet av FoU och produktion, kan kontrollera kvaliteten väl och erbjuda ett konkurrenskraftigt pris. Välkommen för att besöka vår fabrik och ha ytterligare diskussion om samarbete.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductors fribärande kiselkarbidpaddel är en viktig komponent i halvledartillverkningsprocessen, speciellt lämplig för diffusionsugnar eller LPCVD-ugnar i högtemperaturprocesser som diffusion och RTP. Vår kiselkarbid fribärande paddel är noggrant designad och tillverkad med utmärkt högtemperaturbeständighet och mekanisk styrka, och kan säkert och tillförlitligt transportera wafers till processröret under hårda processförhållanden för olika högtemperaturprocesser som diffusion och RTP. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier är viktiga komponenter i halvledarbearbetning, designade för att säkert hålla och transportera ömtåliga kiselwafers, och spelar en nyckelroll i alla steg av tillverkningen. VeTek Semiconductors High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier är noggrant designade och tillverkade för att säkerställa utmärkt prestanda och tillförlitlighet. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, och vi ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfrågan