Kina Kiselkarbidkeramik Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek Semiconductor är din innovativa partner inom halvledarbearbetning. Med vår omfattande portfölj av materialkombinationer av kiselkarbidkeramik av halvledarkvalitet, komponenttillverkningsmöjligheter och applikationstekniktjänster kan vi hjälpa dig att övervinna betydande utmaningar. Teknisk teknisk kiselkarbidkeramik används i stor utsträckning inom halvledarindustrin på grund av deras exceptionella materialprestanda. VeTek Semiconductors ultrarena kiselkarbidkeramik används ofta under hela cykeln av halvledartillverkning och -bearbetning.

DIFFUSION & LPCVD-BEHANDLING

VeTek Semiconductor tillhandahåller konstruerade keramiska komponenter speciellt designade för batchdiffusion och LPCVD-krav inklusive:

• Bafflar & hållare
• Injektorer
• Liners & processtuber
• Fribärande paddlar av kiselkarbid
• Waferbåtar och piedestaler

SiC Cantilever paddel SiC processrör Processrör av kiselkarbid SiC vertikal waferbåt SiC horisontell waferbåt SiC horizontals fyrkantig waferbåt SiC LPCVD waferbåt SiC horisontell plattbåt SiC rund waferbåt

ETSA PROCESSKOMPONENTER

Minimera kontaminering och oplanerat underhåll med komponenter med hög renhet som är konstruerade för strängheten vid plasmaetsning, inklusive:

Fokusringar

Munstycken

Sköldar

Duschmunstycken

Fönster / Lock

Andra anpassade komponenter

SNABB TERMISK BEHANDLING & EPITAXIAL PROCESSKOMPONENTER

VeTek Semiconductor tillhandahåller avancerade materialkomponenter skräddarsydda för applikationer för termisk bearbetning vid hög temperatur inom halvledarindustrin. Dessa applikationer omfattar RTP, Epi-processer, diffusion, oxidation och glödgning. Vår tekniska keramik är designad för att motstå termiska stötar, vilket ger pålitlig och konsekvent prestanda. Med VeTek Semiconductors komponenter kan halvledartillverkare uppnå effektiv och högkvalitativ termisk bearbetning, vilket bidrar till den övergripande framgången för halvledarproduktion.

• Diffusorer

• Isolatorer

• Susceptorer

• Andra specialanpassade termiska komponenter

Fysikaliska egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid
Fast egendom	Typiskt värde
Arbetstemperatur (°C)	1600°C (med syre), 1700°C (reducerande miljö)
SiC / SiC innehåll	> 99,96 %
Si / Gratis Si-innehåll	< 0,1 %
Bulkdensitet	2,60-2,70 g/cm3
Synbar porositet	< 16 %
Kompressionsstyrka	> 600 MPa
Kallböjhållfasthet	80-90 MPa (20°C)
Varmböjhållfasthet	90-100 MPa (1400°C)
Termisk expansion @1500°C	4,70 10-6/°C
Värmeledningsförmåga @1200°C	23 W/m•K
Elasticitetsmodul	240 GPa
Motståndskraft mot termisk stöt	Extremt bra

View as

Silicon Carbide Wafer Båt

VeTek Semiconductors högrenhet Silicon Carbide Wafer Boat är tillverkad av extremt rent kiselkarbidmaterial med utmärkt termisk stabilitet, mekanisk styrka och kemisk beständighet. Silicon Carbide Wafer Boat med hög renhet används i varma zonapplikationer inom halvledartillverkning, särskilt i högtemperaturmiljöer, och spelar en viktig roll för att skydda wafers, transportera material och upprätthålla stabila processer. VeTek Semiconductor kommer att fortsätta arbeta hårt för att förnya och förbättra prestandan hos högren kiselkarbidskiva för att möta de växande behoven av halvledartillverkning. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

Ultrarent kiselkarbidpulver för kristalltillväxt

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och leverantör, dedikerad till att tillhandahålla högkvalitativt ultrarent kiselkarbidpulver för kristalltillväxt. Med en renhet på upp till 99,999 viktprocent och extremt låga föroreningsnivåer av kväve, bor, aluminium och andra föroreningar, är den speciellt utformad för att förbättra de halvisolerande egenskaperna hos högren kiselkarbid. Välkommen att fråga och samarbeta med oss!

Läs mer Skicka förfrågan

<1 2 3 >

Som en professionell Kiselkarbidkeramik tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Kiselkarbidkeramik tillverkade i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.