VeTek Semiconductors SiC Wafer Boat är en mycket högpresterande produkt. Vår SiC Wafer Boat används vanligtvis i halvledaroxidationsdiffusionsugnar för att säkerställa att temperaturen är jämnt fördelad på wafern och förbättra kiselwaferns bearbetningskvalitet. SiC-materialens höga temperaturstabilitet och höga värmeledningsförmåga säkerställer effektiv och pålitlig halvledarbearbetning. Vi är fast beslutna att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser och ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.
Följande är introduktionen av högkvalitativ SiC Wafer Boat från VeTek Semiconductor, i hopp om att hjälpa dig att bättre förstå SiC Wafer Boat. Välkommen nya och gamla kunder att fortsätta att samarbeta med oss för att skapa en bättre framtid!
SiC horisontella fyrkantiga waferbåtar fungerar som kritiska komponenter i högtemperaturdiffusionsprocesser och fungerar som waferstöd. Dessa båtar spelar en viktig roll för att säkert och effektivt hantera ömtåliga wafers under bearbetning.
Hög temperaturstyrka: Båten måste visa exceptionell styrka vid höga temperaturer för att klara de tuffa miljöerna med högtemperaturbearbetning.
Kemisk stabilitet vid hög temperatur: Att bibehålla strukturell integritet och kemisk sammansättning under extrema höga temperaturer säkerställer processrenhet.
Partikelfri prestanda: Båten måste vara fri från partikelgenerering eller kontaminering för att säkerställa kvaliteten på de bearbetade wafers.
Mångsidiga specifikationer: Vetek Semiconductor erbjuder en rad standardspecifikationer och tillhandahåller skräddarsydda tjänster för att möta specifika krav.
Kvalitet och hastighet: Vetek Semiconductor säkerställer högkvalitativa produkter och snabb leverans, vilket tillgodoser kraven från snabba industrier.
Materialexpertis: Att utnyttja tätt omkristalliserat kiselkarbidmaterial garanterar överlägsen prestanda och livslängd för båtarna.
Högtemperaturtröskel: Vetek Semiconductor-båtar har en maximal driftstemperatur på 1600°C, lämplig för de mest krävande högtemperaturprocesserna.
Kostnadseffektivitet: Vetek Semiconductor-båtar erbjuder ett mycket konkurrenskraftigt förhållande mellan kostnad och prestanda, vilket ger valuta för pengarna.
Hållbarhet: Med en lång livslängd ger Vetek Semiconductor-båtar tillförlitlighet och konsekvens i processer för waferhantering.
Vetek Semiconductor utmärker sig på marknaden för sitt engagemang för kvalitet, anpassningsalternativ, materialinnovation, högtemperaturkapacitet, kostnadseffektivitet och livslängd, vilket gör det till det föredragna valet för halvledartillverkare globalt.
Fysikaliska egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid | |
Fast egendom | Typiskt värde |
Arbetstemperatur (°C) | 1600°C (med syre), 1700°C (reducerande miljö) |
SiC-innehåll | > 99,96 % |
Gratis Si-innehåll | < 0,1 % |
Bulkdensitet | 2,60-2,70 g/cm3 |
Synbar porositet | < 16 % |
Kompressionsstyrka | > 600 MPa |
Kallböjhållfasthet | 80-90 MPa (20°C) |
Varmböjhållfasthet | 90-100 MPa (1400°C) |
Termisk expansion @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Värmeledningsförmåga @1200°C | 23 W/m•K |
Elasticitetsmodul | 240 GPa |
Motståndskraft mot termisk stöt | Extremt bra |