> Produkter > Silikonkarbidbeläggning > MOCVD-teknik

Nya produkter

Kina MOCVD-teknik Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek Semiconductor har fördelar och erfarenhet av MOCVD Technology reservdelar.

MOCVD, det fullständiga namnet på Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (metallorganisk kemisk ångdeposition), kan också kallas metallorganisk ångfasepitaxi. Organometalliska föreningar är en klass av föreningar med metall-kol-bindningar. Dessa föreningar innehåller minst en kemisk bindning mellan en metall och en kolatom. Metallorganiska föreningar används ofta som prekursorer och kan bilda tunna filmer eller nanostrukturer på substratet genom olika deponeringstekniker.

Metallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD-teknik) är en vanlig epitaxiell tillväxtteknologi, MOCVD-teknik används i stor utsträckning vid tillverkning av halvledarlasrar och lysdioder. Speciellt vid tillverkning av lysdioder är MOCVD en nyckelteknologi för produktion av galliumnitrid (GaN) och relaterade material.

Det finns två huvudformer av epitaxi: Liquid Phase Epitaxi (LPE) och Vapor Phase Epitaxi (VPE). Gasfasepitaxi kan vidare delas in i metall-organisk kemisk ångdeposition (MOCVD) och molekylär strålepitaxi (MBE).

Utländska utrustningstillverkare är främst representerade av Aixtron och Veeco. MOCVD-systemet är en av nyckelutrustningarna för tillverkning av lasrar, lysdioder, fotoelektriska komponenter, kraft, RF-enheter och solceller.

Huvuddragen hos MOCVD-teknologins reservdelar tillverkade av vårt företag:

1) Hög densitet och full inkapsling: grafitbasen som helhet befinner sig i en hög temperatur och korrosiv arbetsmiljö, ytan måste vara helt omslagen och beläggningen måste ha god förtätning för att spela en bra skyddande roll.

2) Bra ytplanhet: Eftersom grafitbasen som används för enkristalltillväxt kräver en mycket hög ytplanhet, bör basens ursprungliga planhet bibehållas efter att beläggningen preparerats, det vill säga beläggningsskiktet måste vara enhetligt.

3) Bra bindningsstyrka: Minska skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan grafitbasen och beläggningsmaterialet, vilket effektivt kan förbättra bindningsstyrkan mellan de två, och beläggningen är inte lätt att spricka efter att ha upplevt hög och låg temperaturvärme cykel.

4) Hög värmeledningsförmåga: högkvalitativ spåntillväxt kräver att grafitbasen ger snabb och jämn värme, så beläggningsmaterialet bör ha en hög värmeledningsförmåga.

5) Hög smältpunkt, hög temperatur oxidationsbeständighet, korrosionsbeständighet: beläggningen ska kunna fungera stabilt i hög temperatur och korrosiv arbetsmiljö.

Placera 4 tums substrat
Blågrön epitaxi för odling av LED
Inrymt i reaktionskammaren
Direktkontakt med wafern Placera 4 tums substrat
Används för att odla UV LED epitaxial film
Inrymt i reaktionskammaren
Direktkontakt med wafern Veeco K868/Veeco K700 Maskin
Vit LED-epitaxi/Blågrön LED-epitaxi Används i VEECO-utrustning
För MOCVD-epitaxi
SiC Coating Susceptor Aixtron TS-utrustning
Djup ultraviolett epitaxi
2-tums substrat Veeco utrustning
Röd-Gul LED Epitaxi
4-tums wafersubstrat TaC-belagd susceptor
(SiC Epi/UV LED-mottagare) SiC-belagd susceptor
(ALD/ Si Epi/ LED MOCVD-susceptor)

View as

SiC Coating Wafer Carrier

Som en professionell tillverkare och leverantör av SiC-beläggningswaferbärare i Kina, används Vetek Semiconductors SiC-beläggningswaferbärare huvudsakligen för att förbättra tillväxtens enhetlighet hos epitaxialskiktet, vilket säkerställer deras stabilitet och integritet i hög temperatur och korrosiva miljöer. Ser fram emot din förfrågan.

Läs mer Skicka förfrågan

MOCVD LED Epi Susceptor

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare av MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor i Kina. VeTek Semiconductors MOCVD LED Epi Susceptor är designad för krävande epitaxiella utrustningstillämpningar. Dess höga värmeledningsförmåga, kemiska stabilitet och hållbarhet är nyckelfaktorer för att säkerställa en stabil epitaxiell tillväxtprocess och högkvalitativ halvledarfilmproduktion. Vi ser fram emot ytterligare samarbete med dig.

Läs mer Skicka förfrågan

SiC Coating Epi-mottagare

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare, innovatör och ledare av SiC Coating Epi Susceptor-produkter i Kina. Under många år har vi fokuserat på olika SiC Coating produkter såsom SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Wafer Carrier, SiC Coating Susceptor, SiC coating ALD susceptor, etc. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknologi och produktlösningar för halvledaren industri. Välkommen med din fortsatta konsultation.

Läs mer Skicka förfrågan

CVD SiC-belagd kjol

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare, innovatör och ledare av CVD SiC Coating och TAC Coating i Kina. Under många år har vi fokuserat på olika CVD SiC-beläggningsprodukter såsom CVD SiC-belagd kjol, CVD SiC-beläggningsring, CVD SiC-beläggningsbärare, etc. VeTek Semiconductor stödjer kundanpassade produkttjänster och tillfredsställande produktpriser, och ser fram emot din fortsatta samråd.

Läs mer Skicka förfrågan

UV LED Epi Susceptor

Som en ledande kinesisk tillverkare och ledare av halvledarprodukter har VeTek Semiconductor fokuserat på olika typer av suceptorprodukter såsom UV LED Epi Susceptor, Deep-UV LED Epitaxial Susceptor, SiC Coating Susceptor, MOCVD Susceptor, etc. i många år. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknologi och produktlösningar för halvledarindustrin, och vi ser verkligen fram emot att bli din partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

SiC-belagd stödring

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och leverantör i Kina, som huvudsakligen producerar SiC-belagda stödringar, CVD-kiselkarbid (SiC) beläggningar, tantalkarbid (TaC) beläggningar, bulk SiC, SiC-pulver och högrent SiC-material. Vi är fast beslutna att tillhandahålla perfekt teknisk support och ultimata produktlösningar för halvledarindustrin, välkommen att kontakta oss.

Läs mer Skicka förfrågan

<1 2 3 4 5 >

Som en professionell MOCVD-teknik tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara MOCVD-teknik tillverkade i Kina kan du lämna ett meddelande till oss.