VeTek Semiconductor har fördelar och erfarenhet av MOCVD Technology reservdelar.
MOCVD, det fullständiga namnet på Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (metallorganisk kemisk ångdeposition), kan också kallas metallorganisk ångfasepitaxi. Organometalliska föreningar är en klass av föreningar med metall-kol-bindningar. Dessa föreningar innehåller minst en kemisk bindning mellan en metall och en kolatom. Metallorganiska föreningar används ofta som prekursorer och kan bilda tunna filmer eller nanostrukturer på substratet genom olika deponeringstekniker.
Metallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD-teknik) är en vanlig epitaxiell tillväxtteknologi, MOCVD-teknik används i stor utsträckning vid tillverkning av halvledarlasrar och lysdioder. Speciellt vid tillverkning av lysdioder är MOCVD en nyckelteknologi för produktion av galliumnitrid (GaN) och relaterade material.
Det finns två huvudformer av epitaxi: Liquid Phase Epitaxi (LPE) och Vapor Phase Epitaxi (VPE). Gasfasepitaxi kan vidare delas in i metall-organisk kemisk ångdeposition (MOCVD) och molekylär strålepitaxi (MBE).
Utländska utrustningstillverkare är främst representerade av Aixtron och Veeco. MOCVD-systemet är en av nyckelutrustningarna för tillverkning av lasrar, lysdioder, fotoelektriska komponenter, kraft, RF-enheter och solceller.
Huvuddragen hos MOCVD-teknologins reservdelar tillverkade av vårt företag:
1) Hög densitet och full inkapsling: grafitbasen som helhet befinner sig i en hög temperatur och korrosiv arbetsmiljö, ytan måste vara helt omslagen och beläggningen måste ha god förtätning för att spela en bra skyddande roll.
2) Bra ytplanhet: Eftersom grafitbasen som används för enkristalltillväxt kräver en mycket hög ytplanhet, bör basens ursprungliga planhet bibehållas efter att beläggningen preparerats, det vill säga beläggningsskiktet måste vara enhetligt.
3) Bra bindningsstyrka: Minska skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan grafitbasen och beläggningsmaterialet, vilket effektivt kan förbättra bindningsstyrkan mellan de två, och beläggningen är inte lätt att spricka efter att ha upplevt hög och låg temperaturvärme cykel.
4) Hög värmeledningsförmåga: högkvalitativ spåntillväxt kräver att grafitbasen ger snabb och jämn värme, så beläggningsmaterialet bör ha en hög värmeledningsförmåga.
5) Hög smältpunkt, hög temperatur oxidationsbeständighet, korrosionsbeständighet: beläggningen ska kunna fungera stabilt i hög temperatur och korrosiv arbetsmiljö.
Placera 4 tums substrat
Blågrön epitaxi för odling av LED
Inrymt i reaktionskammaren
Direktkontakt med wafern Placera 4 tums substrat
Används för att odla UV LED epitaxial film
Inrymt i reaktionskammaren
Direktkontakt med wafern Veeco K868/Veeco K700 Maskin
Vit LED-epitaxi/Blågrön LED-epitaxi Används i VEECO-utrustning
För MOCVD-epitaxi
SiC Coating Susceptor Aixtron TS-utrustning
Djup ultraviolett epitaxi
2-tums substrat Veeco utrustning
Röd-Gul LED Epitaxi
4-tums wafersubstrat TaC-belagd susceptor
(SiC Epi/UV LED-mottagare) SiC-belagd susceptor
(ALD/ Si Epi/ LED MOCVD-susceptor)
VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och leverantör i Kina, som huvudsakligen producerar SiC-belagda stödringar, CVD-kiselkarbid (SiC) beläggningar, tantalkarbid (TaC) beläggningar, bulk SiC, SiC-pulver och högrent SiC-material. Vi är fast beslutna att tillhandahålla perfekt teknisk support och ultimata produktlösningar för halvledarindustrin, välkommen att kontakta oss.
Läs merSkicka förfråganVetek Semiconductor fokuserar på forskning och utveckling och industrialisering av CVD SiC-beläggning och CVD TaC-beläggning. Om man tar SiC-beläggningssusceptor som ett exempel, är produkten mycket bearbetad med hög precision, tät CVD SIC-beläggning, hög temperaturbeständighet och stark korrosionsbeständighet. En förfrågan till oss är välkommen.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor, en ledande tillverkare av CVD SiC-beläggningar, erbjuder SiC Coating Set Disc i Aixtron MOCVD-reaktorer. Dessa SiC-beläggningsskivor är tillverkade av grafit med hög renhet och har en CVD SiC-beläggning med föroreningar under 5 ppm. Vi välkomnar förfrågningar om denna produkt.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor, en ansedd CVD SiC-beläggningstillverkare, ger dig det banbrytande SiC Coating Collector Center i Aixtron G5 MOCVD-system. Dessa SiC Coating Collector Center är noggrant designade med grafit av hög renhet och har en avancerad CVD SiC-beläggning, som säkerställer hög temperaturstabilitet, korrosionsbeständighet, hög renhet. Ser fram emot att samarbeta med dig!
Läs merSkicka förfråganVälkommen till VeTek Semiconductor, din pålitliga tillverkare av CVD SiC-beläggningar. Vi är stolta över att erbjuda Aixtron SiC Coating Collector Top, som är sakkunnigt konstruerad med högren grafit och har en toppmodern CVD SiC-beläggning med föroreningar under 5 ppm. Tveka inte att kontakta oss med frågor eller funderingar
Läs merSkicka förfråganMed vår expertis inom CVD SiC-beläggningstillverkning, presenterar VeTek Semiconductor stolt Aixtron SiC Coating Collector Bottom. Denna SiC Coating Collector Botten är konstruerad med hög renhetsgrad grafit och är belagd med CVD SiC, vilket säkerställer föroreningar under 5 ppm. Välkommen att kontakta oss för mer information och förfrågningar.
Läs merSkicka förfrågan