> Produkter > Silikonkarbidbeläggning > MOCVD-teknik

Nya produkter

Kina MOCVD-teknik Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek Semiconductor har fördelar och erfarenhet av MOCVD Technology reservdelar.

MOCVD, det fullständiga namnet på Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (metallorganisk kemisk ångdeposition), kan också kallas metallorganisk ångfasepitaxi. Organometalliska föreningar är en klass av föreningar med metall-kol-bindningar. Dessa föreningar innehåller minst en kemisk bindning mellan en metall och en kolatom. Metallorganiska föreningar används ofta som prekursorer och kan bilda tunna filmer eller nanostrukturer på substratet genom olika deponeringstekniker.

Metallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD-teknik) är en vanlig epitaxiell tillväxtteknologi, MOCVD-teknik används i stor utsträckning vid tillverkning av halvledarlasrar och lysdioder. Speciellt vid tillverkning av lysdioder är MOCVD en nyckelteknologi för produktion av galliumnitrid (GaN) och relaterade material.

Det finns två huvudformer av epitaxi: Liquid Phase Epitaxi (LPE) och Vapor Phase Epitaxi (VPE). Gasfasepitaxi kan vidare delas in i metall-organisk kemisk ångdeposition (MOCVD) och molekylär strålepitaxi (MBE).

Utländska utrustningstillverkare är främst representerade av Aixtron och Veeco. MOCVD-systemet är en av nyckelutrustningarna för tillverkning av lasrar, lysdioder, fotoelektriska komponenter, kraft, RF-enheter och solceller.

Huvuddragen hos MOCVD-teknologins reservdelar tillverkade av vårt företag:

1) Hög densitet och full inkapsling: grafitbasen som helhet befinner sig i en hög temperatur och korrosiv arbetsmiljö, ytan måste vara helt omslagen och beläggningen måste ha god förtätning för att spela en bra skyddande roll.

2) Bra ytplanhet: Eftersom grafitbasen som används för enkristalltillväxt kräver en mycket hög ytplanhet, bör basens ursprungliga planhet bibehållas efter att beläggningen preparerats, det vill säga beläggningsskiktet måste vara enhetligt.

3) Bra bindningsstyrka: Minska skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan grafitbasen och beläggningsmaterialet, vilket effektivt kan förbättra bindningsstyrkan mellan de två, och beläggningen är inte lätt att spricka efter att ha upplevt hög och låg temperaturvärme cykel.

4) Hög värmeledningsförmåga: högkvalitativ spåntillväxt kräver att grafitbasen ger snabb och jämn värme, så beläggningsmaterialet bör ha en hög värmeledningsförmåga.

5) Hög smältpunkt, hög temperatur oxidationsbeständighet, korrosionsbeständighet: beläggningen ska kunna fungera stabilt i hög temperatur och korrosiv arbetsmiljö.

Placera 4 tums substrat
Blågrön epitaxi för odling av LED
Inrymt i reaktionskammaren
Direktkontakt med wafern Placera 4 tums substrat
Används för att odla UV LED epitaxial film
Inrymt i reaktionskammaren
Direktkontakt med wafern Veeco K868/Veeco K700 Maskin
Vit LED-epitaxi/Blågrön LED-epitaxi Används i VEECO-utrustning
För MOCVD-epitaxi
SiC Coating Susceptor Aixtron TS-utrustning
Djup ultraviolett epitaxi
2-tums substrat Veeco utrustning
Röd-Gul LED Epitaxi
4-tums wafersubstrat TaC-belagd susceptor
(SiC Epi/UV LED-mottagare) SiC-belagd susceptor
(ALD/ Si Epi/ LED MOCVD-susceptor)

View as

SiC-beläggningssegment

Vetek Semiconductor är dedikerade till utvecklingen och kommersialiseringen av CVD SiC-beläggning och CVD TaC-beläggning. Som en illustration genomgår våra SiC Coating Cover-segment noggrann bearbetning, vilket resulterar i en tät CVD SiC-beläggning med exceptionell precision. Den uppvisar enastående motståndskraft mot höga temperaturer och ger ett robust skydd mot korrosion. Vi välkomnar dina förfrågningar.

Läs mer Skicka förfrågan

MOCVD-acceptor

Vetek Semiconductor fokuserar på forskning och utveckling och industrialisering av CVD SiC-beläggning och CVD TaC-beläggning. Om man tar MOCVD Susceptor som ett exempel, är produkten mycket bearbetad med hög precision, tät CVD SIC-beläggning, hög temperaturbeständighet och stark korrosionsbeständighet. En förfrågan till oss är välkommen.

Läs mer Skicka förfrågan

MOCVD Epitaxial Susceptor för 4" Wafer

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och leverantör, som är dedikerad till att tillhandahålla högkvalitativ MOCVD Epitaxial Susceptor för 4" Wafer. med rik branscherfarenhet och ett professionellt team kan vi leverera experter och effektiva lösningar till våra kunder.

Läs mer Skicka förfrågan

Halvledare Susceptor Block SiC Coated

VeTek Semiconductors Semiconductor susceptorblock SiC-belagd är en mycket pålitlig och hållbar enhet. Den är designad för att tåla höga temperaturer och hårda kemiska miljöer samtidigt som den bibehåller stabil prestanda och lång livslängd. Med sina utmärkta processmöjligheter minskar Semiconductor Susceptor Block SiC Coated frekvensen av utbyte och underhåll, vilket förbättrar produktionseffektiviteten. Vi ser fram emot möjligheten att samarbeta med dig.

Läs mer Skicka förfrågan

SiC-belagd MOCVD-susceptor

VeTek Semiconductors SiC Coated MOCVD Susceptor är en enhet med utmärkt process, hållbarhet och tillförlitlighet. De tål höga temperaturer och kemiska miljöer, bibehåller stabil prestanda och lång livslängd, vilket minskar frekvensen av utbyte och underhåll och förbättrar produktionseffektiviteten. Vår MOCVD Epitaxial Susceptor är känd för sin höga densitet, utmärkta planhet och utmärkta termiska kontroll, vilket gör den till den föredragna utrustningen i tuffa tillverkningsmiljöer. Ser fram emot att samarbeta med dig.

Läs mer Skicka förfrågan

Kiselbaserad GaN epitaxiell susceptor

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och leverantör, dedikerad till att tillhandahålla högkvalitativ kiselbaserad GaN Epitaxial Susceptor. Susceptorhalvledaren används i VEECO K465i GaN MOCVD-system, hög renhet, hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, välkommen att fråga och samarbeta med oss!

Läs mer Skicka förfrågan

<1 2 3 4 5 >

Som en professionell MOCVD-teknik tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara MOCVD-teknik tillverkade i Kina kan du lämna ett meddelande till oss.