Silikon piedestal

VeTek Semiconductor silicon susceptor är en ren kiselprodukt designad för att säkerställa temperaturstabilitet i det termiska reaktorröret under kiselwafer-bearbetning, och därigenom förbättra värmeisoleringseffektiviteten. Bearbetning av kiselskivor är en extremt exakt process, och temperaturen spelar en avgörande roll, som direkt påverkar tjockleken och enhetligheten hos kiselskivans film.

Kiselpiedestalen är placerad i den nedre delen av ugnens termiska reaktorrör och stöder kiselnwaferbäraresamtidigt som den ger effektiv värmeisolering. I slutet av processen svalnar den gradvis till omgivningstemperatur tillsammans med kiselwaferbäraren.

Kärnfunktioner och fördelar med VeTek Semiconductor Silicon Piedestals:

Ge stabilt stöd för att säkerställa processnoggrannhet

Kiselpiedestalen ger en stabil och mycket värmebeständig stödplattform för kiselbåten i högtemperaturugnskammaren. Denna stabilitet kan effektivt förhindra kiselbåten från att skifta eller luta under bearbetningen, och därigenom undvika att påverka enhetligheten i luftflödet eller förstöra temperaturfördelningen, vilket säkerställer hög precision och konsistens i processen.

Förbättra temperaturlikformigheten i ugnen och förbättra waferkvaliteten

Genom att isolera kiselbåten från direkt kontakt med ugnens botten eller vägg kan kiselbasen minska värmeförlusten orsakad av ledning och därigenom uppnå en jämnare temperaturfördelning i det termiska reaktionsröret. Denna enhetliga termiska miljö är väsentlig för att uppnå enhetlighet av waferdiffusion och oxidskikt, vilket avsevärt förbättrar den övergripande kvaliteten på wafern.

Optimera värmeisoleringsprestanda och minska energiförbrukningen

De utmärkta värmeisoleringsegenskaperna hos kiselbasmaterialet hjälper till att minska värmeförlusten i ugnskammaren, vilket avsevärt förbättrar processens energieffektivitet. Denna effektiva termiska hanteringsmekanism påskyndar inte bara cykeln för uppvärmning och kylning, utan minskar också energiförbrukningen och driftskostnaderna, vilket ger en mer ekonomisk lösning för tillverkning av halvledartillverkning.

Specifikationer för VeTek Semiconductor Silicon Piedestal

VeTek Semiconductor Silicon Pedestal produktionsbutiker