Vad är CVD TAC Coating?

Som vi alla vet,TaChar en smältpunkt på upp till 3880°C, hög mekanisk hållfasthet, hårdhet, termisk chockbeständighet; god kemisk tröghet och termisk stabilitet mot ammoniak, väte, kiselhaltig ånga vid höga temperaturer.

Tantalkarbidbeläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt

CVD TAC beläggningkemisk ångavsättning (CVD) avtantalkarbid (TaC) beläggning, är en process för att bilda en hög densitet och hållbar beläggning på ett substrat (vanligtvis grafit). Denna metod innebär avsättning av TaC på ytan av substratet vid höga temperaturer, vilket resulterar i en beläggning med utmärkt termisk stabilitet och kemisk beständighet.

De främsta fördelarna med CVD TaC-beläggningar inkluderar:

Extremt hög termisk stabilitet: tål temperaturer över 2200°C.

Kemisk beständighet: kan effektivt motstå starka kemikalier som väte, ammoniak och kiselånga.

Stark vidhäftning: ger långvarigt skydd utan delaminering.

Hög renhet: minimerar föroreningar, vilket gör den idealisk för halvledarapplikationer.

Dessa beläggningar är särskilt lämpliga för miljöer som kräver hög hållbarhet och motståndskraft mot extrema förhållanden, såsom halvledartillverkning och högtemperaturindustriella processer.

Inom industriell produktion är det mycket sannolikt att grafitmaterial (kol-kolkomposit) belagda med TaC-beläggning ersätter traditionell högrenhetsgrafit, pBN-beläggning, SiC-beläggningsdelar, etc. Dessutom har TaC inom flyg- och rymdområdet stor potential att användas som en högtemperatur-antioxidations- och anti-ablationsbeläggning och har breda tillämpningsmöjligheter. Det finns dock fortfarande många utmaningar för att uppnå beredningen av tät, enhetlig, icke-flakande TaC-beläggning på ytan av grafit och främja industriell massproduktion.

I denna process är det avgörande för den tredje generationen att utforska skyddsmekanismen för beläggningen, förnya produktionsprocessen och konkurrera med den högsta utländska nivånhalvledarkristalltillväxt och epitaxi.

VeTek Semiconductor är en professionell kinesisk tillverkare av CVD-tantalkarbidbeläggningsprodukter, som t.exCVD TaC beläggningsdegel, CVD TaC Coating Wafer Carrier, CVD TaC Coating Carrier,CVD TaC beläggningsskydd, CVD TaC beläggningsring. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla avancerade lösningar för olika beläggningsprodukter för halvledarindustrin.

Om du har några frågor eller behöver ytterligare information, tveka inte att kontakta oss.

Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

E-post: anny@veteksemi.com