Vad är TaC Coating?

TaC Coating (Tantalum Carbide Coating) är ett högpresterande beläggningsmaterial framställt genom kemisk ångavsättningsprocess (CVD). På grund av de utmärkta egenskaperna hos TaC-beläggning under extrema förhållanden, används den i stor utsträckning i halvledartillverkningsprocessen, särskilt i utrustning och komponenter som kräver hög temperatur och stark korrosiv miljö. TaC Coating används vanligtvis för att skydda substrat (som grafit eller keramik) från skador av hög temperatur, korrosiva gaser och mekaniskt slitage.

Produktegenskaper och fördelar

Extremt hög termisk stabilitet:

Funktionsbeskrivning: TaC-beläggning har en smältpunkt på mer än 3880°C och kan bibehålla stabilitet utan sönderdelning eller deformation i extremt höga temperaturer.

Fördel: Detta gör det till ett oumbärligt material i högtemperaturhalvledarutrustning såsom CVD TaC Coating och TaC Coated Susceptor, speciellt för tillämpningar i MOCVD-reaktorer, såsom Aixtron G5-utrustning.

Utmärkt korrosionsbeständighet:

Funktionsbeskrivning: TaC har extremt stark kemisk tröghet och kan effektivt motstå erosion av korrosiva gaser som klorider och fluorider.

Fördelar: I halvledarprocesser som involverar mycket korrosiva kemikalier, skyddar TaC Coating utrustningskomponenter från kemiska angrepp, förlänger livslängden och förbättrar processstabiliteten, särskilt vid applicering av Silicon Carbide Wafer Boat och andra nyckelkomponenter.

Utmärkt mekanisk hårdhet:

Funktionsbeskrivning: TaC-beläggningens hårdhet är så hög som 9-10 Mohs, vilket gör den motståndskraftig mot mekaniskt slitage och höga temperaturer.

Fördel: Den höga hårdhetsegenskapen gör TaC Coating särskilt lämplig för användning i miljöer med högt slitage och hög belastning, vilket säkerställer utrustningens långsiktiga stabilitet och tillförlitlighet under tuffa förhållanden.

Låg kemisk reaktivitet:

Funktionsbeskrivning: Tack vare sin kemiska tröghet kan TaC Coating bibehålla låg reaktivitet i högtemperaturmiljöer och undvika onödiga kemiska reaktioner med reaktiva gaser.

Fördel: Detta är särskilt viktigt i halvledartillverkningsprocessen eftersom det säkerställer renheten i processmiljön och högkvalitativ avsättning av material.

Rollen av TaC Coating i halvledarbearbetning

Skydda nyckelkomponenter i utrustningen:

Funktionsbeskrivning: TaC-beläggning används ofta i nyckelkomponenter i halvledartillverkningsutrustning, såsom TaC Coated Susceptor, som måste fungera under extrema förhållanden. Genom att belägga med TaC kan dessa komponenter fungera under långa tidsperioder i miljöer med hög temperatur och korrosiva gaser utan att skadas.

Förläng utrustningens livslängd:

Funktionsbeskrivning: I MOCVD-utrustning som Aixtron G5 kan TaC Coating avsevärt förbättra utrustningskomponenternas hållbarhet och minska behovet av utrustningsunderhåll och utbyte på grund av korrosion och slitage.

Förbättra processstabiliteten:

Funktionsbeskrivning: Inom halvledartillverkning säkerställer TaC Coating enhetligheten och konsistensen i deponeringsprocessen genom att tillhandahålla en stabil hög temperatur och kemisk miljö. Detta är särskilt viktigt i epitaxiella tillväxtprocesser som kiselepitaxi och galliumnitrid (GaN).

Förbättra processeffektiviteten:

Funktionsbeskrivning: Genom att optimera beläggningen på utrustningens yta kan TaC Coating förbättra processens totala effektivitet, minska antalet defekter och öka produktutbytet. Detta är avgörande för tillverkning av högprecision, hög renhet halvledarmaterial.

Den höga termiska stabiliteten, utmärkta korrosionsbeständigheten, den mekaniska hårdheten och den låga kemiska reaktiviteten som TaC Coating uppvisar under halvledarbearbetning gör det till ett idealiskt val för att skydda komponenter i halvledartillverkning. Eftersom halvledarindustrins efterfrågan på hög temperatur, hög renhet och effektiva tillverkningsprocesser fortsätter att öka, har TaC Coating breda tillämpningsmöjligheter, särskilt inom utrustning och processer som involverar CVD TaC Coating, TaC Coated Susceptor och Aixtron G5.

VeTek semiconductor Technology Co., LTD är en ledande leverantör av avancerade beläggningsmaterial för halvledarindustrin. vårt företag fokuserar på att utveckla banbrytande lösningar för branschen.

Våra huvudsakliga produkterbjudanden inkluderar CVD kiselkarbid (SiC) beläggningar, tantalkarbid (TaC) beläggningar, bulk SiC, SiC pulver och högrent SiC material, SiC belagd grafit susceptor, förvärmningsringar, TaC belagda avledningsringar, halvmåndelar, etc. ., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundernas krav.

VeTek halvledarfokus på att utveckla banbrytande teknologi och produktutvecklingslösningar för halvledarindustrin.Vi hoppas verkligen att bli din långsiktiga partner i Kina.