Kina SiC epitaxiprocess Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek Semiconductors unika hårdmetallbeläggningar ger överlägset skydd för grafitdelar i SiC Epitaxy Process för bearbetning av krävande halvledar- och komposithalvledarmaterial. Resultatet är förlängd grafitkomponentlivslängd, bevarande av reaktionsstökiometri, hämning av föroreningsmigrering till epitaxi- och kristalltillväxtapplikationer, vilket resulterar i ökat utbyte och kvalitet.

Våra tantalkarbidbeläggningar (TaC) skyddar kritiska ugns- och reaktorkomponenter vid höga temperaturer (upp till 2200°C) från het ammoniak, väte, kiselångor och smälta metaller. VeTek Semiconductor har ett brett utbud av grafitbearbetnings- och mätmöjligheter för att möta dina skräddarsydda krav, så vi kan erbjuda en avgiftsbelagd beläggning eller fullservice, med vårt team av expertingenjörer redo att designa rätt lösning för dig och din specifika applikation .

Sammansatta halvledarkristaller

VeTek Semiconductor kan tillhandahålla speciella TaC-beläggningar för olika komponenter och bärare. Genom VeTek Semiconductors branschledande beläggningsprocess kan TaC-beläggningen erhålla hög renhet, hög temperaturstabilitet och hög kemisk beständighet, och därigenom förbättra produktkvaliteten på kristalltaC/GaN)- och Epl-skikt och förlänga livslängden för kritiska reaktorkomponenter.

Värmeisolatorer

SiC, GaN och AlN kristalltillväxtkomponenter inklusive deglar, fröhållare, deflektorer och filter. Industriella sammansättningar inklusive resistiva värmeelement, munstycken, skärmningsringar och hårdlödningsfixturer, GaN och SiC epitaxiella CVD-reaktorkomponenter inklusive waferbärare, satellitbrickor, duschmunstycken, mössor och piedestaler, MOCVD-komponenter.

Syfte:

LED (Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(halvledare) mottagare

EPI-receptor (SiC-epitaxiprocess)

TaC-belagd satellitmottagare TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating delar Halfmoon delar med TaC-beläggning

Jämförelse av SiC-beläggning och TaC-beläggning:

	Sic	TaC
Huvuddrag	Ultrahög renhet, utmärkt plasmaresistens	Utmärkt hög temperatur stabilitet (hög temperatur processöverensstämmelse)
Renhet	>99,9999 %	>99,9999 %
Densitet (g/cm 3)	3.21	15
Hårdhet (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistivitet [Ωcm]	0,1-15 000	<1
Värmeledningsförmåga (W/m-K)	200-360	22
Termisk expansionskoefficient (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Ansökan	Halvledarutrustning Keramisk jigg (fokusring, duschhuvud, dummy wafer)	SiC Enkristalltillväxt, Epi, UV LED Utrustningsdelar

View as

TaC beläggningsvärmare

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och innovatör av TaC Coating Heater i Kina. Denna produkt har en extremt hög smältpunkt (ca 3880°C). Den höga smältpunkten för TaC Coating Heater gör att den kan arbeta vid extremt höga temperaturer, särskilt vid tillväxten av galliumnitrid (GaN) epitaxiella skikt i processen för metallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD). VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknologi och produktlösningar för halvledarindustrin. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC-belagd chuck

Som en professionell tillverkare och leverantör av TaC Coated Chuck i Kina är VeTek Semiconductors TaC Coating Chuck speciellt utformad för halvledarugnar. Med sin höga temperaturbeständighet, kemiska tröghet och utmärkta prestanda ger Vetek Semiconductors innovativa teknologi en pålitlig lösning för halvledartillverkningsindustrin för att säkerställa högkvalitativa produktionsstandarder. Vi tror att våra produkter kan ge dig avancerad teknik och högkvalitativa produktlösningar.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC beläggningsrör

Som en professionell tillverkare och leverantör av TaC Coating Tube i Kina är VeTek Semiconductors TaC-beläggningsrör en nyckelkomponent för den framgångsrika tillväxten av enkristaller av kiselkarbid. Med sin höga temperaturbeständighet, kemiska tröghet och utmärkta prestanda säkerställer den produktionen av högkvalitativa kristaller med konsekventa resultat. Lita på våra innovativa lösningar för att förbättra din PVT-metod SiC-kristalltillväxtprocess och uppnå utmärkta resultat. Välkommen att fråga oss.

Läs mer Skicka förfrågan

CVD TAC beläggning

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare, innovatör och ledare för CVD TAC Coating i Kina. Under många år har vi fokuserat på olika CVD TAC Coating-produkter såsom CVD TaC-beläggningsskydd, CVD TaC-beläggningsring, CVD TaC Coating-bärare, etc. VeTek Semiconductor stödjer kundanpassade produkttjänster och tillfredsställande produktpriser, och ser fram emot din fortsatta samråd.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC Coating Reservdel

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare av TaC Coating Plate och andra TaC Coating reservdelar i Kina. TaC Coating används för närvarande främst i processer som kiselkarbid enkristalltillväxt (PVT-metoden), epitaxialskiva (inklusive kiselkarbidepitaxi, LED-epitaxi) etc. Kombinerat med den goda långtidsstabiliteten hos TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate har blivit riktmärket för TaC Coating reservdelar. Vi ser fram emot att du blir vår långsiktiga partner.

Läs mer Skicka förfrågan

GaN på SiC epi-acceptor

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare av GaN på SiC epi susceptor, CVD SiC beläggning och CVD TAC COATING grafit susceptor i Kina. Bland dem spelar GaN på SiC epi-susceptor en viktig roll i halvledarbearbetning. Genom sin utmärkta värmeledningsförmåga, högtemperaturbearbetningsförmåga och kemiska stabilitet säkerställer den den höga effektiviteten och materialkvaliteten hos GaN epitaxial tillväxtprocess. Vi ser verkligen fram emot din fortsatta konsultation.

Läs mer Skicka förfrågan

<1 2 3 4 5...7 >

Som en professionell SiC epitaxiprocess tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara SiC epitaxiprocess tillverkade i Kina kan du lämna ett meddelande till oss.