Kina SiC epitaxiprocess Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek Semiconductors unika hårdmetallbeläggningar ger överlägset skydd för grafitdelar i SiC Epitaxy Process för bearbetning av krävande halvledar- och komposithalvledarmaterial. Resultatet är förlängd grafitkomponentlivslängd, bevarande av reaktionsstökiometri, hämning av föroreningsmigrering till epitaxi- och kristalltillväxtapplikationer, vilket resulterar i ökat utbyte och kvalitet.

Våra tantalkarbidbeläggningar (TaC) skyddar kritiska ugns- och reaktorkomponenter vid höga temperaturer (upp till 2200°C) från het ammoniak, väte, kiselångor och smälta metaller. VeTek Semiconductor har ett brett utbud av grafitbearbetnings- och mätmöjligheter för att möta dina skräddarsydda krav, så vi kan erbjuda en avgiftsbelagd beläggning eller fullservice, med vårt team av expertingenjörer redo att designa rätt lösning för dig och din specifika applikation .

Sammansatta halvledarkristaller

VeTek Semiconductor kan tillhandahålla speciella TaC-beläggningar för olika komponenter och bärare. Genom VeTek Semiconductors branschledande beläggningsprocess kan TaC-beläggningen erhålla hög renhet, hög temperaturstabilitet och hög kemisk beständighet, och därigenom förbättra produktkvaliteten på kristalltaC/GaN)- och Epl-skikt och förlänga livslängden för kritiska reaktorkomponenter.

Värmeisolatorer

SiC, GaN och AlN kristalltillväxtkomponenter inklusive deglar, fröhållare, deflektorer och filter. Industriella sammansättningar inklusive resistiva värmeelement, munstycken, skärmningsringar och hårdlödningsfixturer, GaN och SiC epitaxiella CVD-reaktorkomponenter inklusive waferbärare, satellitbrickor, duschmunstycken, mössor och piedestaler, MOCVD-komponenter.

Syfte:

LED (Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(halvledare) mottagare

EPI-receptor (SiC-epitaxiprocess)

TaC-belagd satellitmottagare TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating delar Halfmoon delar med TaC-beläggning

Jämförelse av SiC-beläggning och TaC-beläggning:

	Sic	TaC
Huvuddrag	Ultrahög renhet, utmärkt plasmaresistens	Utmärkt hög temperatur stabilitet (hög temperatur processöverensstämmelse)
Renhet	>99,9999 %	>99,9999 %
Densitet (g/cm 3)	3.21	15
Hårdhet (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistivitet [Ωcm]	0,1-15 000	<1
Värmeledningsförmåga (W/m-K)	200-360	22
Termisk expansionskoefficient (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Ansökan	Halvledarutrustning Keramisk jigg (fokusring, duschhuvud, dummy wafer)	SiC Enkristalltillväxt, Epi, UV LED Utrustningsdelar

View as

CVD TaC beläggningsskydd

CVD TaC-beläggningsskydd som tillhandahålls av VeTek Semiconductor är en mycket specialiserad komponent designad speciellt för krävande applikationer. Med sina avancerade funktioner och exceptionella prestanda erbjuder vårt CVD TaC-beläggningsskydd flera viktiga fördelar. Vårt CVD TaC-beläggningsskydd ger det nödvändiga skyddet och den prestanda som krävs för framgång. Vi ser fram emot att utforska potentiellt samarbete med dig!

Läs mer Skicka förfrågan

TaC Beläggning Planetär Susceptor

VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor är en exceptionell produkt för Aixtrons epitaxiutrustning. Den robusta TaC-beläggningen ger utmärkt högtemperaturbeständighet och kemisk tröghet. Denna unika kombination säkerställer pålitlig prestanda och lång livslängd, även i krävande miljöer. VeTek har åtagit sig att tillhandahålla högkvalitativa produkter och fungera som en långsiktig partner på den kinesiska marknaden med konkurrenskraftiga priser.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC Coating Piedestal Stödplatta

VeTek Semiconductors TaC Coating Piedestal Support Plate är en högprecisionsprodukt designad för att möta de specifika kraven för halvledarepitaxiprocesser. Med sin TaC-beläggning, hög temperaturbeständighet och kemiska tröghet ger vår produkt dig möjlighet att producera högkvalitativa EPI-lager med hög kvalitet. Vi är fast beslutna att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser och ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC Coating Chuck

VeTek Semiconductors TaC Coating Chuck har en högkvalitativ TaC-beläggning, känd för sin enastående högtemperaturbeständighet och kemiska tröghet, särskilt i kiselkarbid (SiC) epitaxi (EPI) processer. Med sina exceptionella egenskaper och överlägsna prestanda erbjuder vår TaC Coating Chuck flera viktiga fördelar. Vi är fast beslutna att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser och ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

LPE SiC EPI Halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon av VeTek Semiconductor, en revolutionerande produkt designad för att höja LPE-reaktorns SiC-epitaxiprocesser. Denna banbrytande lösning har flera nyckelfunktioner som säkerställer överlägsen prestanda och effektivitet genom hela din tillverkningsverksamhet. Ser fram emot att etablera ett långsiktigt samarbete med dig.

Läs mer Skicka förfrågan

Tantalkarbid TaC-belagd Halfmoon

VeTek Semiconductor är den ledande tillverkaren och leverantören i Kina för Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, vi specialiserade oss på FoU och produktion, kan kontrollera kvaliteten väl och erbjuda ett konkurrenskraftigt pris. Du är välkommen att besöka vår fabrik för vidare diskussion om ett långsiktigt samarbete.

Läs mer Skicka förfrågan

<...3 4 5 6 7 >

Som en professionell SiC epitaxiprocess tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara SiC epitaxiprocess tillverkade i Kina kan du lämna ett meddelande till oss.