Kina SiC epitaxiprocess Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek Semiconductors unika hårdmetallbeläggningar ger överlägset skydd för grafitdelar i SiC Epitaxy Process för bearbetning av krävande halvledar- och komposithalvledarmaterial. Resultatet är förlängd grafitkomponentlivslängd, bevarande av reaktionsstökiometri, hämning av föroreningsmigrering till epitaxi- och kristalltillväxtapplikationer, vilket resulterar i ökat utbyte och kvalitet.

Våra tantalkarbidbeläggningar (TaC) skyddar kritiska ugns- och reaktorkomponenter vid höga temperaturer (upp till 2200°C) från het ammoniak, väte, kiselångor och smälta metaller. VeTek Semiconductor har ett brett utbud av grafitbearbetnings- och mätmöjligheter för att möta dina skräddarsydda krav, så vi kan erbjuda en avgiftsbelagd beläggning eller fullservice, med vårt team av expertingenjörer redo att designa rätt lösning för dig och din specifika applikation .

Sammansatta halvledarkristaller

VeTek Semiconductor kan tillhandahålla speciella TaC-beläggningar för olika komponenter och bärare. Genom VeTek Semiconductors branschledande beläggningsprocess kan TaC-beläggningen erhålla hög renhet, hög temperaturstabilitet och hög kemisk beständighet, och därigenom förbättra produktkvaliteten på kristalltaC/GaN)- och Epl-skikt och förlänga livslängden för kritiska reaktorkomponenter.

Värmeisolatorer

SiC, GaN och AlN kristalltillväxtkomponenter inklusive deglar, fröhållare, deflektorer och filter. Industriella sammansättningar inklusive resistiva värmeelement, munstycken, skärmningsringar och hårdlödningsfixturer, GaN och SiC epitaxiella CVD-reaktorkomponenter inklusive waferbärare, satellitbrickor, duschmunstycken, mössor och piedestaler, MOCVD-komponenter.

Syfte:

LED (Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(halvledare) mottagare

EPI-receptor (SiC-epitaxiprocess)

TaC-belagd satellitmottagare TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating delar Halfmoon delar med TaC-beläggning

Jämförelse av SiC-beläggning och TaC-beläggning:

	Sic	TaC
Huvuddrag	Ultrahög renhet, utmärkt plasmaresistens	Utmärkt hög temperatur stabilitet (hög temperatur processöverensstämmelse)
Renhet	>99,9999 %	>99,9999 %
Densitet (g/cm 3)	3.21	15
Hårdhet (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistivitet [Ωcm]	0,1-15 000	<1
Värmeledningsförmåga (W/m-K)	200-360	22
Termisk expansionskoefficient (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Ansökan	Halvledarutrustning Keramisk jigg (fokusring, duschhuvud, dummy wafer)	SiC Enkristalltillväxt, Epi, UV LED Utrustningsdelar

View as

TaC-belagd ring med tre kronblad

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare av TaC-belagda trebladsringar och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på TaC- och SiC-beläggning i många år. Våra produkter har en korrosionsbeständighet, hög hållfasthet. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

Tantalkarbidbelagd chuck

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbelagda chuckar och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på TaC-beläggning i många år. Våra produkter har en hög renhet och hög temperaturbeständighet upp till 2000 ℃. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

Tantalkarbidbelagd kåpa

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbelagda höljen och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på TaC- och SiC-beläggning i många år. Våra produkter har en korrosionsbeständighet, hög hållfasthet. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

Tantalkarbidbeläggningsskydd

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och innovatör av tantalkarbidbeläggningsskydd i Kina. Vi fokuserar på att tillhandahålla tantalkarbidprodukter med hög renhet och hög temperaturbeständighet. Vårt tantalkarbidbelagda hölje har utmärkt prestanda och tillförlitlighet och kan effektivt skydda material i extremt höga temperaturer och korrosiva miljöer. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC-belagd deflektorring

VeTek Semiconductors TaC-belagda deflektorring är en mycket specialiserad komponent designad för SiC-kristalltillväxtprocesser. TaC-beläggningen ger utmärkt högtemperaturbeständighet och kemisk tröghet för att klara de höga temperaturerna och korrosiva miljöerna under kristalltillväxtprocessen. Detta säkerställer stabil prestanda och lång livslängd för komponenten, vilket minskar frekvensen av utbyte och stilleståndstid. Vi är fast beslutna att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser och ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC-belagd ring för SiC epitaxialreaktor

VeTek Semiconductor är en storskalig TaC-belagd ring för SiC Epitaxial Reactor-tillverkare och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på TaC-beläggning i många år. Våra produkter har hög renhet, hög stabilitet, utmärkt korrosionsbeständighet, hög bindningsstyrka. fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

<...3 4 5 6 7 >

Som en professionell SiC epitaxiprocess tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara SiC epitaxiprocess tillverkade i Kina kan du lämna ett meddelande till oss.