Kina SiC epitaxiprocess Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek Semiconductors unika hårdmetallbeläggningar ger överlägset skydd för grafitdelar i SiC Epitaxy Process för bearbetning av krävande halvledar- och komposithalvledarmaterial. Resultatet är förlängd grafitkomponentlivslängd, bevarande av reaktionsstökiometri, hämning av föroreningsmigrering till epitaxi- och kristalltillväxtapplikationer, vilket resulterar i ökat utbyte och kvalitet.

Våra tantalkarbidbeläggningar (TaC) skyddar kritiska ugns- och reaktorkomponenter vid höga temperaturer (upp till 2200°C) från het ammoniak, väte, kiselångor och smälta metaller. VeTek Semiconductor har ett brett utbud av grafitbearbetnings- och mätmöjligheter för att möta dina skräddarsydda krav, så vi kan erbjuda en avgiftsbelagd beläggning eller fullservice, med vårt team av expertingenjörer redo att designa rätt lösning för dig och din specifika applikation .

Sammansatta halvledarkristaller

VeTek Semiconductor kan tillhandahålla speciella TaC-beläggningar för olika komponenter och bärare. Genom VeTek Semiconductors branschledande beläggningsprocess kan TaC-beläggningen erhålla hög renhet, hög temperaturstabilitet och hög kemisk beständighet, och därigenom förbättra produktkvaliteten på kristalltaC/GaN)- och Epl-skikt och förlänga livslängden för kritiska reaktorkomponenter.

Värmeisolatorer

SiC, GaN och AlN kristalltillväxtkomponenter inklusive deglar, fröhållare, deflektorer och filter. Industriella sammansättningar inklusive resistiva värmeelement, munstycken, skärmningsringar och hårdlödningsfixturer, GaN och SiC epitaxiella CVD-reaktorkomponenter inklusive waferbärare, satellitbrickor, duschmunstycken, mössor och piedestaler, MOCVD-komponenter.

Syfte:

LED (Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(halvledare) mottagare

EPI-receptor (SiC-epitaxiprocess)

TaC-belagd satellitmottagare TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating delar Halfmoon delar med TaC-beläggning

Jämförelse av SiC-beläggning och TaC-beläggning:

	Sic	TaC
Huvuddrag	Ultrahög renhet, utmärkt plasmaresistens	Utmärkt hög temperatur stabilitet (hög temperatur processöverensstämmelse)
Renhet	>99,9999 %	>99,9999 %
Densitet (g/cm 3)	3.21	15
Hårdhet (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistivitet [Ωcm]	0,1-15 000	<1
Värmeledningsförmåga (W/m-K)	200-360	22
Termisk expansionskoefficient (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Ansökan	Halvledarutrustning Keramisk jigg (fokusring, duschhuvud, dummy wafer)	SiC Enkristalltillväxt, Epi, UV LED Utrustningsdelar

View as

Tantalkarbidring

Som en avancerad tillverkare och tillverkare av tantalkarbidringprodukter i Kina har VeTek Semiconductor Tantalkarbidring extremt hög hårdhet, slitstyrka, hög temperaturbeständighet och kemisk stabilitet, och används ofta inom halvledartillverkning. Speciellt i CVD, PVD, jonimplantationsprocess, etsningsprocess och waferbearbetning och transport, är det en oumbärlig produkt för halvledarbearbetning och tillverkning. Ser fram emot din fortsatta konsultation.

Läs mer Skicka förfrågan

Stöd för beläggning av tantalkarbid

Som en professionell tillverkare av tantalkarbidbeläggningsstöd och fabrik i Kina, används VeTek Semiconductor tantalkarbidbeläggningsstöd vanligtvis för ytbeläggning av strukturella komponenter eller stödkomponenter i halvledarutrustning, speciellt för ytskydd av viktiga utrustningskomponenter i halvledartillverkningsprocesser som t.ex. CVD och PVD. Välkommen med din fortsatta konsultation.

Läs mer Skicka förfrågan

Styrring av tantalkarbid

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och ledare av Tantalkarbid Guide Ring-produkter i Kina. Vår tantalkarbid (TaC) styrring är en högpresterande ringkomponent gjord av tantalkarbid, som vanligtvis används i halvledarbearbetningsutrustning, särskilt i högtemperatur- och mycket korrosiva miljöer som CVD, PVD, etsning och diffusion. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknologi och produktlösningar för halvledarindustrin och välkomnar dina ytterligare förfrågningar.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC Coating Rotations Susceptor

Som en professionell tillverkare, innovatör och ledare för TaC Coating Rotation Susceptor-produkter i Kina. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor installeras vanligtvis i utrustning för kemisk ångdeposition (CVD) och molekylär strålepitaxi (MBE) för att stödja och rotera wafers för att säkerställa enhetlig materialavsättning och effektiv reaktion. Det är en nyckelkomponent i halvledarbearbetning. Välkommen med din fortsatta konsultation.

Läs mer Skicka förfrågan

CVD TaC beläggningsdegel

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och ledare av CVD TaC Coating Crucible-produkter i Kina. CVD TaC Coating Crucible är baserad på tantalkol (TaC) beläggning. Tantalkolbeläggningen täcks jämnt på ytan av degeln genom process för kemisk ångavsättning (CVD) för att förbättra dess värmebeständighet och korrosionsbeständighet. Det är ett materialverktyg speciellt använt i extrema miljöer med hög temperatur. Välkommen med din fortsatta konsultation.

Läs mer Skicka förfrågan

CVD TaC Coating Wafer Carrier

Som en professionell CVD TaC Coating Wafer Carrier-produkttillverkare och fabrik i Kina, är VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier ett waferbärande verktyg speciellt designat för högtemperatur- och korrosiva miljöer inom halvledartillverkning. och CVD TaC Coating Wafer Carrier har hög mekanisk hållfasthet, utmärkt korrosionsbeständighet och termisk stabilitet, vilket ger den nödvändiga garantin för tillverkning av högkvalitativa halvledarenheter. Dina ytterligare förfrågningar är välkomna.

Läs mer Skicka förfrågan

<1 2 3 4 5...7 >

Som en professionell SiC epitaxiprocess tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara SiC epitaxiprocess tillverkade i Kina kan du lämna ett meddelande till oss.