Stöd för beläggning av tantalkarbid

Huvudfunktionen för VeTek SemiconductorTantalkarbid (TaC) beläggningStöd är att förbättravärmebeständighet, slitstyrka och korrosionsbeständighetav substratet genom att belägga ett lager av tantalkarbidbeläggning, för att förbättra processens noggrannhet och tillförlitlighet och förlänga komponenternas livslängd. Det är en högpresterande beläggningsprodukt som används inom halvledarbearbetning.

VeTek Semiconductors tantalkarbidbeläggningsstöd har en Mohs-hårdhet på nästan 9~10, näst efter diamant. Den har extremt stark slitstyrka och kan effektivt motstå ytslitage och stötar under bearbetning, vilket effektivt förlänger livslängden på utrustningskomponenter. I kombination med sin höga smältpunkt på cirka 3880°C används den ofta för beläggning av nyckelkomponenter i halvledarutrustning, såsom ytbeläggningar av stödstrukturer, värmebehandlingsutrustning, kammare eller packningar i halvledarutrustning för att förbättra dess slitstyrka och höga temperaturer. motstånd.

På grund av den extremt höga smältpunkten för tantalkarbid på cirka 3880°C, i halvledarprocesser som t.ex.kemisk ångavsättning (CVD)ochfysisk ångavsättning (PVD), TaC-beläggning med stark högtemperaturbeständighet och kemisk korrosionsbeständighet kan effektivt skydda utrustningskomponenter och förhindra korrosion eller skador på substratet i extrema miljöer, vilket ger effektivt skydd för högtemperaturmiljöer vid wafertillverkning. Denna funktion avgör också att VeTek Semiconductors tantalkarbidbeläggningsstöd ofta används i etsnings- och korrosiva processer.

Tantalkarbidbeläggningsstöd har också funktionen att minska partikelkontamination. Under waferbearbetning ger ytslitage vanligtvis partikelförorening, vilket påverkar waferns produktkvalitet. TaC Coatings extrema produktegenskaper på nära 9-10 Mohs hårdhet kan effektivt minska detta slitage och därigenom minska uppkomsten av partiklar. Kombinerat med TaC Coatings utmärkta värmeledningsförmåga (cirka 21 W/m·K), kan den bibehålla god värmeledningsförmåga under höga temperaturförhållanden, vilket avsevärt förbättrar utbytet och konsistensen av wafertillverkningen.

VeTek Semiconductors huvudsakliga TaC Coating-produkter inkluderarTaC beläggningsvärmare, CVD TaC beläggningsdegel, TaC Coating Rotations SusceptorochTaC Coating Reservdel, etc., och stödja kundanpassade produkttjänster. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla utmärkta produkter och tekniska lösningar för halvledarindustrin. Vi hoppas verkligen att bli din långsiktiga partner i Kina.

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD TaC-beläggning：