> Produkter > Silikonkarbidbeläggning

Nya produkter

Kina Silikonkarbidbeläggning Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.

Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.

På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.

Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.

Reaktordelar vi kan göra:

Kiselkarbidbeläggning flera unika fördelar:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Egendom	Typiskt värde
Kristallstruktur	FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
SiC-beläggning Densitet	3,21 g/cm³
SiC-beläggningHårdhet	2500 Vickers hårdhet（500g belastning）
kornstorlek	2~10μm
Kemisk renhet	99,99995 %
Värmekapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Böjningsstyrka	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Värmeledningsförmåga	300W·m^-1·K^-1
Termisk expansion (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC FILM KRISTALSTRUKTUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Kiselkarbidbelagd Epi-susceptor SiC Coating Wafer Carrier SiC-belagd satellitkåpa för MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC beläggning Värmeelement Aixtron Satellite wafer bärare SiC Coating Epi-mottagare SiC beläggning halvmåne grafit delar

View as

SiC-belagd ICP Etsningsbärare

VeTek Semiconductors SiC Coated ICP Etching Carrier är designad för de mest krävande epitaxiutrustningstillämpningarna. Tillverkad av högkvalitativt ultrarent grafitmaterial, vår SiC Coated ICP Etching Carrier har en mycket plan yta och utmärkt korrosionsbeständighet för att motstå de tuffa förhållandena under hantering. Den höga värmeledningsförmågan hos den SiC-belagda bäraren säkerställer en jämn värmefördelning för utmärkta etsningsresultat. VeTek Semiconductor har etablerat långsiktiga samarbetsrelationer med många halvledartillverkare. Vi ser också fram emot att bygga ett långsiktigt partnerskap med dig.

Läs mer Skicka förfrågan

PSS Etsningsbärarplatta för halvledare

VeTek Semiconductors PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor är en högkvalitativ, ultraren grafitbärare designad för waferhanteringsprocesser. Våra bärare har utmärkta prestanda och kan prestera bra i tuffa miljöer, höga temperaturer och tuffa kemiska rengöringsförhållanden. Våra produkter används i stor utsträckning på många europeiska och amerikanska marknader, och vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina. Du är välkommen att komma till Kina för att besöka vår fabrik och lära dig mer om vår teknik och våra produkter.

Läs mer Skicka förfrågan

Susceptor för snabb termisk glödgning

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och leverantör av snabb termisk glödgningssusceptor i Kina, med fokus på att tillhandahålla högpresterande lösningar för halvledarindustrin. Vi har många år av djup teknisk ackumulering inom området SiC-beläggningsmaterial. Vår Rapid Thermal Annealing Susceptor har utmärkt högtemperaturbeständighet och utmärkt värmeledningsförmåga för att möta behoven av wafer epitaxial tillverkning. Du är välkommen att besöka vår fabrik i Kina för att lära dig mer om vår teknik och våra produkter.

Läs mer Skicka förfrågan

Kiselbaserad GaN epitaxiell susceptor

Kiselbaserad GaN Epitaxial Susceptor är kärnkomponenten som krävs för GaN Epitaxial produktion. VeTek Semiconductor, som en professionell tillverkare och leverantör, har åtagit sig att tillhandahålla högkvalitativ kiselbaserad GaN Epitaxial Susceptor. Vår kiselbaserade GaN Epitaxial Susceptor är designad för kiselbaserade GaN Epitaxial reaktorsystem och har hög renhet, utmärkt högtemperaturbeständighet och korrosionsbeständighet. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, välkommen att fråga.

Läs mer Skicka förfrågan

8 tums halvmånedel för LPE-reaktor

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare av halvledarutrustning i Kina, med fokus på FoU och produktion av 8-tums Halfmoon Part för LPE-reaktor. Vi har samlat på oss rik erfarenhet under åren, särskilt inom SiC-beläggningsmaterial, och är engagerade i att tillhandahålla effektiva lösningar skräddarsydda för LPE-epitaxialreaktorer. Vår 8-tums halvmånedel för LPE-reaktor har utmärkt prestanda och kompatibilitet och är en oumbärlig nyckelkomponent vid epitaxiell tillverkning. Välkommen med din förfrågan för att lära dig mer om våra produkter.

Läs mer Skicka förfrågan

SiC-belagd pannkakssusceptor för LPE PE3061S 6'' wafers

SiC Coated Pancake Susceptor för LPE PE3061S 6'' wafers är en av kärnkomponenterna som används i 6'' wafers epitaxial wafer bearbetning. VeTek Semiconductor är för närvarande en ledande tillverkare och leverantör av SiC Coated Pancake Susceptor för LPE PE3061S 6'' wafers i Kina. Den SiC-belagda pannkakssusceptorn har utmärkta egenskaper såsom hög korrosionsbeständighet, god värmeledningsförmåga och god enhetlighet. Ser fram emot din förfrågan.

Läs mer Skicka förfrågan

<...14 15 16 17 18 >

Som en professionell Silikonkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Silikonkarbidbeläggning tillverkade i Kina kan du lämna ett meddelande till oss.