> Produkter > Silikonkarbidbeläggning

Nya produkter

Kina Silikonkarbidbeläggning Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.

Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.

På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.

Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.

Reaktordelar vi kan göra:

Kiselkarbidbeläggning flera unika fördelar:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Egendom	Typiskt värde
Kristallstruktur	FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
SiC-beläggning Densitet	3,21 g/cm³
SiC-beläggningHårdhet	2500 Vickers hårdhet（500g belastning）
kornstorlek	2~10μm
Kemisk renhet	99,99995 %
Värmekapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Böjningsstyrka	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Värmeledningsförmåga	300W·m^-1·K^-1
Termisk expansion (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC FILM KRISTALSTRUKTUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Kiselkarbidbelagd Epi-susceptor SiC Coating Wafer Carrier SiC-belagd satellitkåpa för MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC beläggning Värmeelement Aixtron Satellite wafer bärare SiC Coating Epi-mottagare SiC beläggning halvmåne grafit delar

View as

SiC-belagd stöd för LPE PE2061S

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och leverantör av SiC Coated Support för LPE PE2061S i Kina. SiC-belagd stöd för LPE PE2061S är lämplig för LPE-kiselepitaxialreaktorer. Som botten av fatbasen kan SiC Coated Support för LPE PE2061S motstå höga temperaturer på 1600 grader Celsius, och därigenom uppnå ultralång produktlivslängd och minska kundkostnaderna. Ser fram emot din förfrågan och vidare kommunikation.

Läs mer Skicka förfrågan

SiC-belagd toppplatta för LPE PE2061S

VeTek Semiconductor har varit djupt engagerad i SiC-beläggningsprodukter i många år och har blivit en ledande tillverkare och leverantör av SiC Coated Top Plate för LPE PE2061S i Kina. Den SiC-belagda toppplattan för LPE PE2061S som vi tillhandahåller är designad för epitaxiella LPE-kiselreaktorer och är placerad på toppen tillsammans med fatbasen. Denna SiC-belagda toppplatta för LPE PE2061S har utmärkta egenskaper som hög renhet, utmärkt termisk stabilitet och enhetlighet, vilket hjälper till att odla epitaxiella skikt av hög kvalitet. Oavsett vilken produkt du behöver ser vi fram emot din förfrågan.

Läs mer Skicka förfrågan

SiC Coated Barrel Susceptor för LPE PE2061S

Som en av de ledande fabrikerna för wafersusceptortillverkning i Kina har VeTek Semiconductor gjort kontinuerliga framsteg inom wafersusceptorprodukter och har blivit förstahandsvalet för många epitaxialwafertillverkare. Den SiC-belagda fatsusceptorn för LPE PE2061S från VeTek Semiconductor är designad för LPE PE2061S 4-tums skivor. Susceptorn har en hållbar kiselkarbidbeläggning som förbättrar prestanda och hållbarhet under LPE-processen (vätskefasepitaxi). Välkommen med din förfrågan, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner.

Läs mer Skicka förfrågan

Solid SiC gasduschhuvud

Solid SiC Gas Shower Head spelar en viktig roll för att göra gasen enhetlig i CVD-processen och säkerställer därigenom jämn uppvärmning av substratet. VeTek Semiconductor har varit djupt involverad i området för solid SiC-enheter i många år och kan förse kunder med skräddarsydda Solid SiC Gas duschmunstycken. Oavsett vilka krav du har ser vi fram emot din förfrågan.

Läs mer Skicka förfrågan

Kemisk ångavsättningsprocess Solid SiC-kantring

VeTek Semiconductor har alltid varit engagerad i forskning och utveckling och tillverkning av avancerade halvledarmaterial. Idag har VeTek Semiconductor gjort stora framsteg inom solid SiC kantringprodukter och kan förse kunder med högt anpassade solida SiC kantringar. Solida SiC-kantringar ger bättre etsningslikformighet och exakt waferpositionering när de används med en elektrostatisk chuck, vilket säkerställer konsekventa och tillförlitliga etsningsresultat. Ser fram emot din förfrågan och att bli varandras långsiktiga partners.

Läs mer Skicka förfrågan

Solid SiC Etsning Fokusring

Solid SiC Etching Focusing Ring är en av kärnkomponenterna i waferetsningsprocessen, som spelar en roll för att fixera wafer, fokusera plasma och förbättra waferets enhetlighet. Som den ledande SiC Focusing Ring-tillverkaren i Kina har VeTek Semiconductor avancerad teknologi och mogen process, och tillverkar Solid SiC Etching Focusing Ring som helt uppfyller slutkundernas behov enligt kundens krav. Vi ser fram emot din förfrågan och att bli varandras långsiktiga partners.

Läs mer Skicka förfrågan

<...14 15 16 17 18 >

Som en professionell Silikonkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Silikonkarbidbeläggning tillverkade i Kina kan du lämna ett meddelande till oss.